Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS)
Joachim N. Burghartz
Hauptfach-Homepage

Allmandring 30a
70569 Stuttgart
Tel.: 0711/21855-200

K	E	Fach	Institut	SWS	WS/SS
x		Fertigung elektronischer Systeme Blockveranstalt (Burghartz)	ims	3V/1Ü	SS
	x	Steuerungstechnik der Werkzeugmaschinen und Industrieroboter Vorlesung (Verl)	isw	3V/1Ü	SS
	x	Optische Meßtechnik und Meßverfahren Vorlesung (Osten)	ito	2V/2Ü	SS
	x	Laserverfahren für die Feinwerktechnik Vorlesung (Dausinger)	IFSW	2V	SS
	x	Aktorik in der Feintechnik Vorlesung (Schinköthe)	ikff	3V/1Ü	WS
	x	Grundlagen der Feinwerktechnik: Gerätekonstruktion und -fertigung Vorlesung (Schinköthe)	ikff	3V/1Ü	WS
	x	Aufbau- und Verbindungstechnik für Mikrosysteme Vorlesung (Kück)	izfm	4	SS
	x	Technologien der Nano- und Mikrosystemtechniktechnik I Vorlesung (Sandmeier)	izfm	4V	SS
	x	Grundlagen der Mikrotechnik Vorlesung (Kück)	izfm	4V	WS
x		Grundlagen der Mikroelektronikfertigung Vorlesung (Burghartz)	IMS	2V/1Ü	SS
	x	Elektronik für Mikrosystemtechniker Vorlesung (Mohr)		2	WS
Seminar(e) Nach Vereinbarung Praktikum Mikroelektronik Studien- und Diplomarbeiten in Absprache mit dem Hauptfachprofessor #Hinweise: Die Vorlesung „Grundlagen der Mikroelektronikfertigung“ kann nur in Verbindung mit der Vorlesung „Fertigung Elektronischer Systeme“ als Wahlpflichtfach belegt werden. $Das Fach „Grundlagen der Mikroelektronikfertigung“ wird in englischer Sprache gelesen. Stand: 10.12.2007 CR